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潔凈室建造尋求低成本新規范確保安全高效2009/10/28/08:46來源：中國電子報對集成電路、TFT-LCD和太陽能電池生產廠房的建設而言，潔凈室系統的設計與施工是至關重要的環節。我國潔凈技術市場潛力巨大，據統計，該領域市場年增長速度約為40%。今年7月，我國專門針對電子工業領域的潔凈廠房設計推出的第一個國家標準《電子工業潔凈廠房設計規范》(GB50472)正式實施，在本月中旬舉辦的“2009中國(無錫)潔凈工程高峰論壇”上，來自國內電子工程設計和建造行業的專家和企業界人士齊聚一堂，向與會聽眾介紹了潔凈室領域的最新技術與成功案例，并對新頒布的規范進行了解讀。潔凈設計新規范適應工藝發展集成電路和新型顯示器件的生產必須嚴格滿足高潔凈度的環境要求。據《電子工業潔凈廠房設計規范》主編陳霖新介紹，45納米極大規模集成電路生產要求控制潔凈室的空氣潔凈度為ISO1級或2級，控制微粒粒徑為0.03微米；隨著集成度的不斷提高、加工尺寸的日益微細化，不僅要求十分嚴格的空氣潔凈度等級，而且要確保整個產品生產過程中微粒不黏附在芯片上，芯片不受化學污染物的污染，芯片表面不受損傷，這些問題都要通過潔凈技術來加以解決。作為本次高峰論壇的東道主，無錫市人民政府秘書長吳峰楓也在致辭中表示：“潔凈工程是一項專業的帶凈化要求的安裝工程，潔凈工程技術水平在某種意義上已成為衡量一個國家和地區科學技術水平和工業水平的重要標志。”“目前，針對潔凈室的設計，我國共有3個國家標準。除了今年7月正式實施的GB50472之外，還有《潔凈廠房設計規范》(GB50073)和適用于醫藥工業的《醫藥工業潔凈廠房設計規范》(GB50457)。”陳霖新表示，“隨著電子工業生產技術的進步，GB50073中有關規定已不能滿足需要，尤其是涉及化學分子污染物的控制以及安全、消防等方面的規定，如潔凈建筑防火與疏散、易燃易爆氣體和化學品的貯存輸送、安全消防報警設施等。因此，專門針對電子工業領域潔凈廠房的設計規范GB50472就應運而生了。”電子工程標準定額站站長薛長立則表示，電子工程的標準化是為了在電子工程領域獲得最佳秩序，以促進最佳社會效益為目的，使相關企業遵守統一的規則。“標準規范是工程建設經驗的總結，是滿足安全和質量的最低要求，工程技術人員應該以標準規范為指導，正確理解標準規范中有關條文的應用前提和適應條件。”薛長立補充道。在電子工業潔凈廠房的設計過程中，如果設計時潔凈技術措施、安全消防設施等的設置要求不明確、不一致，將造成工期延誤或措施不當，從而使建成的潔凈廠房運行效果差，影響產品質量和可靠性，嚴重的時候還會造成安全隱患。陳霖新強調：“GB50472的實施就是為了有效地避免電子工業潔凈廠房設計時各專業的不協調、不完善，從而避免工程設計的差錯。所有進行電子工業潔凈廠房設計建造的單位和相關科技人員都應認真執行、實施規范中的強制條文、推薦性條文的各項規定，使電子工業潔凈廠房的設計、建造有法可依、有章可循。”從設計施工環節尋求成本優化集成電路、新型顯示器件制造是高能耗的產業，據統計，潔凈室的能耗是一般寫字樓的10-30倍，而潔凈空調系統的能耗則占其中的30%以上。優秀的潔凈室設計不僅能節省能源、降低運行成本、降低人力投入，而且可以給生產提供安全可靠的保證。[1][2]下一頁

關鍵字標籤：無塵室施工規劃